什么是高纯气体-下载凯发k8

高纯气体(purifiedgases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。

高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。

无机高纯气体

1、空气（air）、氢气（h2）、高纯氧气（o2）、氮气（n2）、氩气（ar）、氦气（he）、氖气（ne）、氪气（kr）、氙气（xe）等；

2、氨气（nh3）、氯气（cl2）、二氧化硫（so2）、一氧化碳（co）、二氧化碳（co2）、二氧化氮（no2）、氧化亚氮（n2o）、氧硫化碳（cos）、氯化氢（hcl）、溴化氢（hbr）、硫化氢（h2s）等；

3、三氟化硼（bf3）、三氯化硼（bcl3）、四氟化碳（cf4）、四氟化硅（sif4）、四氯化硅（sicl4）、六氟化硫（sf6）等。

有机高纯气体

烷烃类：

甲烷（ch4）、乙烷（c2h6）、丙烷（c3h8）、环丙烷（cyc-c3h6）、正丁烷（n-c4h10）、异丁烷（i-c4h10）、正戊烷（n-c5h12)、新戊烷（neo-c5h12）、氯甲烷（ch3cl）、氯乙烷（c2h5cl）、三氟甲烷（chf3）、环氧乙烷（c2h4o）、砷烷（ash3）、磷烷（ph3）、硼烷（b2h6）、硅烷（sih4）等；

烯烃类：

乙烯（c2h4）、丙烯（c3h6）、丙二烯（c3h4==）、1-丁烯（1-c4h8）、异丁烯（i-c4h8)、反-2-丁烯（t-2-c4h8）、顺-2-丁烯（c-2-c4h8）、1.2-丁二烯（1.2-c4h6）、1.3-丁二烯（1.3-c4h6）、氯乙烯（c2h3cl）等；

炔烃类：

乙炔（c2h2）、1-丁炔（1-c4h6）、2-丁炔（2-c4h6）、甲基乙炔（c3h4）、乙烯基乙炔（c4h4=≡）等；

其他：

二甲醚（c2h6o）、甲硫醇（ch4s）、熏蒸剂（c2h4o-co2)等。